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潔凈烘箱,百級潔凈烘箱(考生應14天前抵達高考注冊地)
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發(fā)布時間: 2022-05-23 | 774 次瀏覽 | 分享到:

潔凈烘箱,百級潔凈烘箱用途:
  級潔凈烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

潔凈烘箱,百級潔凈烘箱特點:
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采垂直送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風循環(huán)方式,雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到最佳溫度控制精度。

潔凈烘箱,百級潔凈烘箱技術參數:

1.主要技術指標:
 內箱材質:SUS304鏡面不銹鋼;

外箱材質:優(yōu)質冷軋板噴塑;

無塵等級:Class 100;     

溫度范圍:RT+10250℃;
 溫度均勻度:≤±2%;    

溫度波動度:±0.5℃(空載);        
 溫控精度:±0.1℃;

氮氣控制φ8mmN2進氣,0-100L可調流量控制;